چالاککردنی وردبینی و پاکی لە دروستکردنی تەکنەلۆژیای بەرزدا

لە پیشەسازی نیمچە هێڵکارەکاندا، کە پیسبوونی نانۆ دەتوانێت ڕێژەی بەرهەمهێنان پەک بخات، PTFE وەک چالاککەرێکی گرنگ بۆ پرۆسەی زۆر پاک دەردەکەوێت. هێزی دائێلکتریکی (≥17 کیلۆڤۆڵت/ملم)، کەمی دەرچوونی گازی، و پاکی ئایۆنی داواکارییە توندەکانی دروستکردن و ئامرازکردنی وەیفر دابین دەکات.

1. مامەڵەکردن لەگەڵ وەیفر و گواستنەوەی شلە
بۆری و لاینەری PTFE & PFA زاڵن بەسەر سیستەمی گەیاندنی ماددە کیمیاییە زۆر پاکەکاندا (UPW، CMP slurries، etchants). بۆ نموونە، دامەزراوەیەکی TSMC لە تایوان کەمبوونەوەی 40%ی ژمارەی تەنۆلکەکانی بەدەستهێنا بە گۆڕینی PVC بە بۆری پێکهاتەی PTFE/PFA لە هێڵەکانی دابەشکردنی ترشی HF، پاراستنی بەرگری >18 MΩ·cm.

2. پێکهاتەکانی ژووری چەقاندنی پلازما
بەرگری PTFE بەرامبەر بە پلازمای CF4/O2 وای لێدەکات کە گونجاو بێت بۆ لاینەری ژووری چەسپاندن و ئەڵقەی فۆکەس. پلاتفۆرمی Endura ی Applied Materials ڕاپۆرتی باشتربوونی 15% لە یەکسانی چەسپاندن بە بەکارهێنانی سەری دوش کە PTFE-ڕووپۆش کراوە، کەمترین پیسبوونی کانزاکان (

3. بەڕێوەبردنی بۆشایی و گەرمی
لە سیستەمی لیتۆگرافی EUV، مۆرەکانی Ptfe پاراستنی یەکپارچەیی بۆشایی زۆر بەرز (UHV) لە پلەی گەرمی 10−7 Pa. سکانەرەکانی NXE:3400C ی ASML ئەڵقەی O کەپسولکراوی PTFE بەکاردەهێنن بۆ بەردەوامبوونی خولگەی گەرمی لە نێوان -60 پلەی سەدی (پەمپە بەستووەکان) و 200 پلەی سەدی (ئۆپتیکەکانی لەیزەر) بەبێ شێواندن.

4. کۆندیشنەری پادەکانی CMP
ڕێژەی کەمی لەبەرکردنی PTFE (0.05 mm3/N·m) تەمەنی درێژی کۆندیشنەری پادی CMP بەرز دەکاتەوە. تاقیکردنەوەیەکی سامسۆنگ ئەلیکترۆنی دەریخست کە کۆندیشنەرەکانی دیسکی ئەڵماسی ڕوپۆشکراوی PTFE کە 20% یەکدەنگی تەختەیی بەرزتریان بەدەستهێناوە لە ماوەی 1000 خولدا بە بەراورد بە بەدیلەکانی PEEK.

5. مامەڵەکردن لەگەڵ ماددە بە سەلامەتی ESD
تایبەتمەندییە سروشتییە دژە ئیستاتیکەکانی PTFE (بەرگری ڕووکار 1016 Ω/sq) ڕێگری دەکەن لە تێکچوونی دەردانی کارەبایی لە دەفرەکانی FOUP/FOSB. کۆمپانیای ئینتل لە ویلایەتی ئەریزۆنا کەمبوونەوەی 30% لە کەموکوڕییەکانی پەیوەست بە ESD تۆمارکردووە دوای وەرگرتنی کاسێتی وەیفەر کە PTFE پۆشراون.

ئەنجام
لەگەڵ پێشکەوتنی گرێ نیمچە ڕێبەرەکان بۆ 2 نانۆمەتر و لەوە زیاتر، ڕۆڵی PTFE لە پێکهاتە پاسیڤەکانەوە بۆ چالاککەرانی پرۆسەی چالاک پەرەدەستێنێت. بەکارهێنانە سەرهەڵداوەکان بریتین لە فلتەرەکانی بەرگری فۆتۆ لەسەر بنەمای PTFE (قەبارەی کونیلەکانی 0.1 میکرۆمتر) بۆ نەخشاندنی EUV و پلەکانی نانۆ پێکهاتە بۆ سەقامگیری گەرمی 3D NAND. هاوکاری نێوان ئەندازیارانی ماددە و فۆندریەکان دەبێتە هۆی پاڵنانی داهێنانەکانی PTFE بۆ جێبەجێکردنی پێداویستییەکانی وردبینی لە ئاستی ئەتۆمی پیشەسازیدا.